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Effect of silicon content on the corrosion behaviors of CrAlSiN thin films deposited by magnetron co-sputtering
硅含量对磁控共溅射CrAlSiN薄膜腐蚀行为的影响
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期刊:Journal of vacuum science & technology. A. Vacuum, surfaces, and films 作者:Bih-Show Lou; Yu-Chu Kuo; Chaur-Jeng Wang; Jyh-Wei Lee 出版日期:2024-01-24 |
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