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标题
Plasma power effect on crystallinity and density of AlN films deposited by plasma enhanced atomic layer deposition
等离子体功率对等离子体增强原子层沉积AlN薄膜结晶度和密度的影响
相关领域
材料科学 纤锌矿晶体结构 X射线光电子能谱 分析化学（期刊） 结晶度 原子层沉积 等离子体 薄膜 电介质 沉积（地质） 氮化物 图层（电子） 光电子学 化学工程 纳米技术 复合材料 冶金 化学 生物 物理 工程类 量子力学 古生物学 色谱法 锌 沉积物
网址
https://doi.org/10.1016/j.jmrt.2023.10.302
AI链接 doi.orgdoi.org
DOI
10.1016/j.jmrt.2023.10.302 doi
其它 期刊：Journal of materials research and technology/Journal of Materials Research and Technology
作者：Xiaoying Zhang; Duan-Chen Peng; Jiahao Yan; Zhi-Xuan Zhang; Yu-Jiao Ruan; et al
出版日期：2023-11-01
求助人
三一 在 2024-05-11 15:53:33 发布自福建，悬赏 10 积分
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