Structural and optical properties of AlN/Si system

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标题	Structural and optical properties of AlN/Si system AlN/Si体系的结构和光学性质相关领域材料科学 X射线反射率氮化物薄膜带隙辐照分析化学（期刊）反射计溅射离子束光电子学光学纳米技术图层（电子）梁（结构）时域化学物理色谱法计算机科学核物理学计算机视觉
网址	https://doi.org/10.1016/j.mssp.2009.05.003
DOI	10.1016/j.mssp.2009.05.003 doi
其它	期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Renu Dhunna; Chhagan Lal; Veenu Sisodia; Manika Khanuja; V. Ganesan; et al 出版日期：2008-08-01
求助人	1111 在 2024-07-29 12:10:15 发布自四川，悬赏 10 积分
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