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 Micromachining of diamond film for MEMS applications 用于MEMS应用的金刚石薄膜微加工
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期刊：Journal of Microelectromechanical Systems 作者：Takayuki Shibata; Yasutaka Kitamoto; Kazuya Unno; Eiji Makino 出版日期：2000-03-01 |
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