Large-grained poly-silicon thin films by aluminium-induced crystallisation of microcrystalline silicon

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标题	Large-grained poly-silicon thin films by aluminium-induced crystallisation of microcrystalline silicon 铝诱导微晶硅晶化制备大晶粒多晶硅薄膜相关领域材料科学硅退火（玻璃）结晶微晶薄膜等离子体增强化学气相沉积薄脆饼化学气相沉积基质（水族馆）化学工程结晶学复合材料纳米技术化学冶金地质学工程类海洋学
网址	https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2006.05.083
DOI	10.1016/j.jcrysgro.2006.05.083 doi
其它	期刊：Journal of Crystal Growth 作者：G. Ekanayake; T.F.J. Quinn; H.S. Reehal 出版日期：2006-07-25
求助人	bvuiragybv 在 2025-02-13 20:50:13 发布自浙江，悬赏 10 积分
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