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Evaluation of directly bonded silicon wafer interface by the magic mirror method
直接键合硅片界面的魔镜法评价
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Osamu Okabayashi; Haruo Shirotori; Hiroyuki Sakurazawa; Eizaburō Kanda; Takeshi Yokoyama; et al 出版日期:1990-06-01 |
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