Power transfer efficiency and the power threshold for E–H mode transition in inductively coupled plasmas

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标题	Power transfer efficiency and the power threshold for E–H mode transition in inductively coupled plasmas 电感耦合等离子体中E-H模跃迁的功率传输效率和功率阈值相关领域原子物理学等离子体化学电子密度感应耦合等离子体氩分析化学（期刊）电子功率密度温度电子材料科学功率（物理）热力学物理核物理学色谱法
网址	https://doi.org/10.1063/5.0077769
DOI	10.1063/5.0077769 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Pengcheng Du; Ming-Liang Zhao; Hong Li; Fei Gao; You‐Nian Wang 出版日期：2022-04-01
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