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 Enhanced fatigue resistance of ferroelectric Al0.65Sc0.35N deposited by physical vapor deposition 物理气相沉积增强铁电体Al0.65Sc 0.35 N的抗疲劳性能
相关领域
材料科学
铁电性
沉积（地质）
化学气相沉积
物理气相沉积
光电子学
复合材料
纳米技术
薄膜
地质学
电介质
古生物学
沉积物
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期刊：Science China Information Sciences 作者：Yang Li; Danyang Yao; Yan Liu; Zhi Jiang; Ruiqing Wang; et al 出版日期：2024-04-24 |
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