A study of ultraprecision mechanical polishing of single-crystal silicon with laser nano-structured diamond abrasive by molecular dynamics simulation

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标题	A study of ultraprecision mechanical polishing of single-crystal silicon with laser nano-structured diamond abrasive by molecular dynamics simulation 激光纳米结构金刚石磨料超精密机械抛光单晶硅的分子动力学模拟研究相关领域抛光磨料材料科学化学机械平面化钻石流体静力平衡硅静水应力机械加工复合材料纳米- 冶金冯·米塞斯屈服准则嵌入原子模型分子动力学结构工程有限元法化学计算化学工程类物理量子力学
网址	https://doi.org/10.1016/j.ijmecsci.2019.04.027
DOI	10.1016/j.ijmecsci.2019.04.027 doi
其它	期刊：International Journal of Mechanical Sciences 作者：Houfu Dai; Fa Zhang; Jianbin Chen 出版日期：2019-04-26
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