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 Preparation and characterization of TiO2 thin film by thermal oxidation of sputtered Ti film 溅射Ti膜热氧化制备TiO2薄膜及其表征
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期刊：Materials Science in Semiconductor Processing 作者：Bing Zhou; Xiaohong Jiang; Zhubo Liu; Ruiqi Shen; А.V. Rogachev 出版日期：2012-11-08 |
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