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Low polarization-dependent-loss silicon photonic trident edge coupler fabricated by 248 nm optical lithography
248 nm光刻技术制备低偏振相关损耗硅光子三叉戟边缘耦合器
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期刊: 作者:Xiaoguang Tu; Patrick Dumais; Ming Li; Dominic Goodwill; H. Y. Fu; et al 出版日期:2015-01-01 |
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