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High performance and nearly wake-up free Hf0.5Zr0.5O2 ferroelectric capacitor realized by middle layer strategy with BEOL compatibility
BEOL兼容中间层策略实现高性能近无唤醒Hf0.5Zr 0.5 O2铁电电容器
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期刊:Nanotechnology 作者:Yin-Chi Liu; Gen-Ran Xie; Ji-Ning Yang; Hao Zhang; Д. А. Голосов; et al 出版日期:2024-10-28 |
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