| 标题 |
 Deep multilevel wet etching of fused silica glass microstructures in BOE solution BOE溶液中熔融石英玻璃微结构的深度多级湿法刻蚀
相关领域
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材料科学
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期刊：Cornell University - arXiv 作者：Т. Г. Константинова; M. M. Andronic; D. A. Baklykov; V. E. Stukalova; D. A. Ezenkova; et al 出版日期：2022-12-13 |
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