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 Simulation study of decoherence and light intensity uniformization for extreme ultraviolet of uniform light pipe 均匀光管极紫外光退相干与光强均匀化的模拟研究
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期刊：Acta Physica Sinica 作者：Hui Li; Fang-Rui Tan; Hao-Yu Yin; Yue-Yang Ma; Xiaobin Wu 出版日期：2024-01-01 |
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