| 标题 |
 PMUT Structure Design with a Scar-Free Minimally Invasive Surgery Process on (111) Silicon Wafer （111）硅片上无疤痕微创手术工艺的PMUT结构设计
相关领域
材料科学
薄脆饼
蚀刻（微加工）
体微机械加工
压电
硅
深反应离子刻蚀
微电子机械系统
制作
光电子学
晶片切割
表面微加工
声学
反应离子刻蚀
复合材料
替代医学
图层（电子）
医学
病理
物理
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：2022 IEEE International Ultrasonics Symposium (IUS) 作者：S.D. Wu; Wei Li; Shuai Shao; Heng Yang; Tao Wu; et al 出版日期：2022-10-10 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
不配.
薰硝壤
Singularity
Leonardi
从容芮
pluto
paparazzi221
完美的天空
HEIKU
pcr163
ONESTUD
寻道图强
rosalieshi
彳亍1117
咖啡豆
一一
tuanheqi
陈军
可靠的书桃
yufanhui
皖公网安备34019202002308
