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 Ion behavior impact on ITO thin film fabrication via DC magnetron sputtering with external anode 离子行为对外阳极直流磁控溅射制备ITO薄膜的影响
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期刊：Vacuum 作者：Teng Huang; Chaochao Mo; Meili Cui; Maoyang Li; Peiyu Ji; et al 出版日期：2024-03-01 |
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