| 标题 |
 Isotropic etching of SiGe alloys with high selectivity to similar materials 对同类材料具有高选择性的SiGe合金各向同性刻蚀
相关领域
蚀刻（微加工）
材料科学
硅
各向同性
图层（电子）
各向同性腐蚀
光电子学
选择性
缓冲氧化物腐蚀
纳米技术
反应离子刻蚀
化学
光学
生物化学
物理
催化作用
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| DOI | |
| 其它 |
期刊：Microelectronic Engineering 作者：S. Borel 出版日期：2004-06-01 |
| 求助人 | |
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