New SIMS method to characterize hydrogen in polysilicon films

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标题	New SIMS method to characterize hydrogen in polysilicon films 表征多晶硅薄膜中氢的SIMS新方法相关领域二次离子质谱法分析化学（期刊）薄膜氧化物离子硅材料科学氢氧化硅星团（航天器）化学纳米技术光电子学氮化硅有机化学程序设计语言冶金色谱法计算机科学
网址	https://doi.org/10.1116/6.0001472
DOI	10.1116/6.0001472 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B 作者：Xue-feng Lin; Agi Fucsko; Kari Noehring; Elaine Gabriel; Adam Regner; et al 出版日期：2022
求助人	yingzaifeixiang 在 2024-03-15 17:15:13 发布自北京，悬赏 10 积分
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