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标题
Effects of 2-mercaptopyridine and Janus Green B as levelers on electrical resistance of electrodeposited copper thin film for interconnects
2-巯基吡啶和Janus Green B作为流平剂对互连用电沉积铜薄膜电阻的影响
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网址
https://doi.org/10.1016/j.tsf.2019.03.012
DOI
10.1016/j.tsf.2019.03.012 doi
其它 期刊：Thin Solid Films
作者：Yumei Zhang; Tao Hang; Mengya Dong; Yunwen Wu; Huiqin Ling; et al
出版日期：2019-05-01
求助人
yzy 在 2024-11-27 18:22:41 发布自江西，悬赏 10 积分
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