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 Toward DFM: process worthy design and OPC through verification method using MEEF, TF-MEEF, and MTT 走向DFM：通过使用MEEF、TF-MEEF和MTT的验证方法进行工艺价值设计和OPC
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Insung Kim; Sungsoo Suh; Sunggon Jung; Eunmi Lee; Young-Seog Kang; et al 出版日期：2006-03-10 |
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