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Thickness scaling of (Al0.8Sc0.2)N films with remanent polarization beyond 100 μC cm−2 around 10 nm in thickness
剩余极化超过100 μ C cm−2、厚度约10 nm的(Al0.8Sc 0.2)N薄膜的厚度缩放
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期刊:Applied Physics Express 作者:Ryoichi Mizutani; Shinnosuke Yasuoka; Takahisa Shiraishi; Takao Shimizu; Masato Uehara; et al 出版日期:2021-09-01 |
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