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标题
Advanced techniques in quartz wafer precision processing: Stealth dicing based on filament-induced laser machining
石英晶片精密加工中的先进技术&基于光丝诱导激光加工的隐形切割
相关领域
晶片切割 薄脆饼 材料科学 机械加工 石英 飞秒 激光切割 激光器 光学 Crystal(编程语言) 激光加工 表面微加工 光电子学 复合材料 计算机科学 制作 激光束 冶金 物理 医学 替代医学 病理 程序设计语言
网址
DOI
10.1016/j.optlastec.2023.110474 doi
其它 期刊:Optics and Laser Technology
作者:Yun Wang; Yutang Dai; Farhan Mumtaz; Kaiyan Luo
出版日期:2023-12-19
求助人
1234567 在 2024-12-18 21:45:49 发布自河南,悬赏 10 积分
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