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 Micromechanical properties of micro- and nanocrystalline CVD diamond thin films with gradient microstructures and stresses 具有梯度微结构和应力的微纳晶CVD金刚石薄膜的微观力学性能
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Michael Meindlhumer; T. Ziegelwanger; Jason E. Grau; H. Sternschulte; Michael Sztucki; et al 出版日期：2024-01-12 |
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