Reducing systematic LCDU of dense contact hole arrays on wafer via source optimization

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标题	Reducing systematic LCDU of dense contact hole arrays on wafer via source optimization 通过源优化降低晶片上密集接触孔阵列的系统LCDU 相关领域西格玛薄脆饼超单元六西格玛极紫外光刻物理计算机科学光学光电子学工程类电信天文级联化学工程雷达
网址	https://doi.org/10.1117/12.2685814
DOI	10.1117/12.2685814 doi
其它	期刊：作者：Joern-Holger Franke; Lieve Van Look; Andreas Frommhold; Alberto Colina; Gijsbert Rispens; et al 出版日期：2023-09-29
求助人	雷老板在 2025-02-04 22:18:07 发布自江苏，悬赏 20 积分
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