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![]() 4H-SiC沿[112′0]和[11′00]晶向在Si面和C面的皮秒激光隐形切割研究
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期刊:Optics and Laser Technology 作者:Qiuling Wen; Ye Yang; Jing Lu; Hui Huang; Changcai Cui 出版日期:2023-02-22 |
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