Kinodynamic Generation of Wafer Scanners Trajectories Used in Semiconductor Manufacturing - 科研通

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标题	Kinodynamic Generation of Wafer Scanners Trajectories Used in Semiconductor Manufacturing 半导体制造中晶圆扫描仪轨迹的Kinodynamic生成相关领域半导体器件制造薄脆饼夹持器半导体半导体器件建模弹道晶圆制造工程类计算机科学控制工程机械工程电子工程电气工程物理 CMOS芯片天文
网址	https://doi.org/10.1109/tase.2022.3196318
DOI	10.1109/tase.2022.3196318 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Automation Science and Engineering 作者：Yazan M. Al-Rawashdeh; Mohammad Al Janaideh; Marcel Heertjes 出版日期：2022-09-22
求助人	hhmm 在 2025-01-15 10:01:23 发布自广东，悬赏 10 积分
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