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 Study of Ga2O3 Deposition by MOVPE from Trimethylgallium and Oxygen in a Wide Temperature Range 宽温度范围内三甲基镓氧MOVPE沉积Ga2O3的研究
相关领域
三甲基镓
金属有机气相外延
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期刊：Technical Physics Letters 作者：W. V. Lundin; S. N. Rodin; А. В. Сахаров; A. F. Tsatsulnikov; A.V. Lobanova; et al 出版日期：2023-12-01 |
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