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标题
Recurrent feature-incorporated convolutional neural network for virtual metrology of the chemical mechanical planarization process
用于化学机械平面化过程虚拟计量的递归特征卷积神经网络
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化学机械平面化 卷积神经网络 过程（计算） 人工神经网络 计算机科学 半导体器件制造 薄脆饼 GSM演进的增强数据速率 人工智能 计量学 特征（语言学） 边缘设备 深度学习 抛光 机器学习 工程类 机械工程 云计算 数学 电气工程 操作系统 哲学 统计 语言学
网址
https://doi.org/10.1007/s10845-018-1437-4
DOI
10.1007/s10845-018-1437-4 doi
其它 期刊：Journal of Intelligent Manufacturing
作者：Ki Bum Lee; Chang Ouk Kim
出版日期：2018-07-17
求助人
浅斟低唱 在 2025-03-06 19:24:12 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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