Atomic surface induced by novel green chemical mechanical polishing for aspheric thin-walled crucibles with large diameters

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标题	Atomic surface induced by novel green chemical mechanical polishing for aspheric thin-walled crucibles with large diameters 大直径非球面薄壁坩埚新型绿色化学机械抛光诱导原子表面相关领域材料科学 X射线光电子能谱抛光表面粗糙度扫描电子显微镜化学机械平面化拉曼光谱复合材料分析化学（期刊）化学工程光学化学色谱法物理工程类
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2024.03.014
DOI	10.1016/j.jmapro.2024.03.014 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Xiangxiang Cui; Zhenyu Zhang; Chunjing Shi; Qibo Peng; Xiaoyu Liu; et al 出版日期：2024-03-08
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