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标题
Heteroepitaxial CVD Growth of 3C-SiC on Diamond Substrate
金刚石衬底上3C-SiC异质外延CVD生长
相关领域
材料科学 单晶硅 钻石 基质(水族馆) 化学气相沉积 图层(电子) 微晶 电子背散射衍射 透射电子显微镜 光电子学 纳米技术 冶金 微观结构 海洋学 地质学
网址
DOI
10.4028/www.scientific.net/msf.778-780.226 doi
其它 期刊:Materials Science Forum
作者:Véronique Soulière; Arthur Vo-Ha; Davy Carole; Alexandre Tallaire; Ovidiu Brinza; et al
出版日期:2014-02-26
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