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标题
Silicon epitaxial growth at 300 °C by plasma enhanced chemical vapor deposition from SiH4/H2
通过等离子体增强化学气相沉积从SiH4/H2在300℃下外延生长硅
相关领域
外延 化学气相沉积 硅 薄脆饼 分析化学（期刊） 材料科学 燃烧室压力 托尔 透射电子显微镜 光电子学 化学 纳米技术 图层（电子） 冶金 物理 热力学 色谱法
网址
https://doi.org/10.1063/1.109625
DOI
10.1063/1.109625 doi
其它 期刊：Applied Physics Letters
作者：Cheng‐Hsien Chen; Chi‐Chao Wan; Tri‐Rung Yew; Ming‐Deng Shieh; Chung‐Yuan Kung
出版日期：1993-06-14
求助人
Kevin 在 2024-07-30 23:29:09 发布自北京，悬赏 10 积分
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