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标题
Optimized phase-shifting masks for high-resolution resist patterning by interference lithography
干涉光刻高分辨率抗蚀剂图案化的优化相移掩模
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DOI
10.1117/12.2280582 doi
求助人
小花 在 2024-07-01 18:31:32 发布自陕西,悬赏 10 积分
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  • 5个月前,求助关闭

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  • 5个月前

    小花 小花 求助人 Lv1 发起了本次求助

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