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 Design of plasma strip chamber for uniform gas supply with fluid flow simulation 基于流体流动模拟的均匀供气等离子体条形室设计
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena 作者：Juyong Jang; Se Yun Jo; Sang Jeen Hong 出版日期：2024-07-29 |
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