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标题
Increased critical thickness for high Ge-content strained SiGe-on-Si using selective epitaxial growth
利用选择性外延生长增加高Ge含量应变SiGe-on-Si的临界厚度
相关领域
外延 材料科学 位错 薄脆饼 透射电子显微镜 结晶学 光电子学 凝聚态物理 复合材料 纳米技术 化学 图层(电子) 物理
网址
DOI
10.1063/1.3530433 doi
其它 期刊:Applied Physics Letters
作者:Meekyung Kim; Pouya Hashemi; Judy L. Hoyt
出版日期:2010-12-27
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Kevin 在 2024-08-12 22:49:50 发布自北京,悬赏 10 积分
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