Characteristics analysis of fused silica material and experimental research on polishing removal efficiency

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标题	Characteristics analysis of fused silica material and experimental research on polishing removal efficiency 熔融石英材料特性分析及抛光去除效率实验研究相关领域抛光材料科学化学机械平面化工艺工程计算机科学复合材料工程类
网址	https://doi.org/10.1117/12.3024180
DOI	10.1117/12.3024180 doi
其它	期刊：作者：Qiancai Wei; Fan Fei; Bo Zhong; Nan Zheng; Jian Wang 出版日期：2024-03-18
求助人	研友_LkY7BZ 在 2024-09-21 11:45:26 发布自四川，悬赏 20 积分
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