Ion energy and angular distributions in planar Ar/O2 inductively coupled plasmas: hybrid simulation and experimental validation

已完结

文献求助详情

标题	Ion energy and angular distributions in planar Ar/O2 inductively coupled plasmas: hybrid simulation and experimental validation 平面Ar/O2电感耦合等离子体中离子能量和角分布的混合模拟与实验验证相关领域平面的离子感应耦合等离子体等离子体材料科学原子物理学能量（信号处理）分析化学（期刊）化学物理核物理学计算机科学色谱法量子力学计算机图形学（图像）有机化学
备注	需要出版社出版的文章
网址	https://doi.org/10.1088/1361-6463/ab1dd3
DOI	10.1088/1361-6463/ab1dd3 doi
其它	期刊：Journal of Physics D: Applied Physics 作者：Yuru Zhang; Zhuanzhuan Zhao; Chan Xue; Fei Gao; You‐Nian Wang 出版日期：2019-05-20
求助人	byyyy 在 2024-03-30 16:45:50 发布自陕西，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 郭京京完成签到，获得积分10

1秒前; 博雅雅雅雅雅完成签到，获得积分10

1秒前; 小蜗牛完成签到，获得积分10

2秒前; 111完成签到，获得积分10

5秒前; 小鹿儿完成签到，获得积分10

6秒前; xixi完成签到，获得积分10

6秒前; 狗儿吖完成签到，获得积分10

8秒前; 荔枝完成签到，获得积分10

9秒前; liwen完成签到，获得积分20

11秒前; 司徒涟妖完成签到，获得积分10

12秒前; 务实的绝悟完成签到，获得积分10

12秒前; Asuna完成签到，获得积分10

13秒前; 大胆短靴完成签到，获得积分10

13秒前; 共享精神的应助被相识采纳，获得30

14秒前; 小蘑菇上传了应助文件

15秒前; 干净的时光上传了应助文件

16秒前; 冰冷天蝎座完成签到，获得积分10

18秒前; 陈荣完成签到，获得积分10

18秒前; 无聊的完成签到，获得积分10

19秒前; 工催小邱发布了新的文献求助10

19秒前; yiluyouni完成签到，获得积分10

19秒前; 宛宛完成签到，获得积分10

20秒前; 个性的大白菜真实的钥匙完成签到，获得积分10

21秒前; 拼搏的白云完成签到，获得积分10

23秒前; Hello的应助被yys采纳，获得10

24秒前; zhangjianzeng完成签到，获得积分10

25秒前; 优美完成签到，获得积分10

25秒前; zy完成签到，获得积分10

25秒前; 李哈哈完成签到，获得积分10

25秒前; Hello上传了应助文件

26秒前; 深情安青上传了应助文件

27秒前; 所所的应助被yY0720采纳，获得10

28秒前; Promise完成签到，获得积分10

28秒前; 退而求其次完成签到，获得积分10

28秒前; yeyuchenfeng完成签到，获得积分10

29秒前; Ava的应助被8y24dp采纳，获得10

30秒前; jessicazhong发布了新的文献求助10

32秒前; 郑洋完成签到，获得积分10

32秒前; 小二郎上传了应助文件

32秒前; 东方幼旋完成签到，获得积分10

34秒前