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![]() 三唑类化合物对铜化学机械抛光缓蚀机理的实验与DFT研究
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期刊:Applied surface science 作者:Jianghao Liu; Xinhuan Niu; Yun Jia; Ni Zhan; Yida Zou; et al 出版日期:2024-05-01 |
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