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Dual-facing-target-sputtered amorphous CoMoN/CN compound soft-X-ray multilayers: structures and thermal stability
双面靶溅射非晶CoMoN/CN化合物软X射线多层膜的结构和热稳定性
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期刊:Applied Physics A 作者:Haili Bai; Zuming He; Wenbo Mi; Ping Wu; Zhi‐Qing Li; et al 出版日期:2003-08-01 |
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