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 Impact of chemical bonding difference of ALD Mo on SiO2 and Al2O3 on the effective work function of the two gate stacks ALD Mo与SiO2和Al2O3化学键的差异对两种栅堆有效功函数的影响
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Ekaterina Zoubenko; Sara Iacopetti; Kamira Weinfeld; Yaron Kauffmann; Patrick Van Cleemput; et al 出版日期：2021-05-11 |
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