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![]() CH4/Ar等离子体中偏压增强成核和生长过程快速生长超纳米金刚石薄膜
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期刊:Applied Physics Letters 作者:Adhimoorthy Saravanan; Bohr‐Ran Huang; Kamatchi Jothiramalingam Sankaran; Chung‐Li Dong; Nyan‐Hwa Tai; et al 出版日期:2014-05-05 |
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