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Improvement in dispersion stability of alumina suspensions and corresponding chemical mechanical polishing performance
氧化铝悬浮液分散稳定性及化学机械抛光性能的改善
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期刊:Applied Surface Science 作者:Wantang Wang; Baoguo Zhang; Ye Shi; D. K. Zhou; Ru Wang 出版日期:2022-09-01 |
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