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Relationship between temperature gradient and growth rate during CZ silicon crystal growth
CZ硅晶体生长过程中温度梯度与生长速率的关系
相关领域
温度梯度
硅
增长率
晶体生长
材料科学
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期刊:Journal of Crystal Growth 作者:Shinichi Nishizawa 出版日期:2024-10-25 |
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