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 Influence of strain on thermal conductivity of silicon nitride thin films 应变对氮化硅薄膜热导率的影响
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期刊：Journal of Micromechanics and Microengineering 作者：M. Alam; M P Manoharan; Aman Haque; C. Muratore; Andrey A. Voevodin 出版日期：2012-03-02 |
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