High-temperature electrostatic chuck enabled by BN dielectrics

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标题	High-temperature electrostatic chuck enabled by BN dielectrics BN介电材料实现高温静电卡盘相关领域材料科学薄脆饼电阻率和电导率氮化硼电介质复合材料陶瓷热冲击热解炭化学气相沉积介电强度光电子学电气工程热解化学工程工程类
网址	https://doi.org/10.1557/s43580-022-00406-z
DOI	10.1557/s43580-022-00406-z doi
其它	期刊：MRS Advances 作者：Wei Fan; Yuji Morikawa; Tetsuya Higuchi; Yoshihiko Matsui; Taiki Yamamoto; et al 出版日期：2022-11-30
求助人	风啊在 2024-11-22 23:18:23 发布自山东，悬赏 10 积分
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