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Nonparametric identification of a MEMS resonator actuated by levitation forces
悬浮力驱动的MEMS谐振器的非参数辨识
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期刊:International Journal of Non-Linear Mechanics 作者:Mohammed Abdel Razzaq; Rodrigo Tumolin Rocha; Yu Tian; Shahrzad Towfighian; Sami F. Masri; et al 出版日期:2023-12-30 |
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