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标题
Volatile vapor knife of immersion lithography hood using solutal Marangoni effect
利用solutal Marangoni效应的浸没光刻罩挥发蒸汽刀
相关领域
马朗戈尼效应 沉浸式（数学） 浸没式光刻 薄脆饼 平版印刷术 材料科学 镜头（地质） 半导体 光学 硅 光电子学 抵抗 纳米技术 对流 机械 物理 数学 图层（电子） 纯数学
网址
https://doi.org/10.1116/5.0100753
DOI
10.1116/5.0100753 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Junil Ryu; Gilgu Lee; Wonki Lee; Jong Min Yoon; Namil Koo; et al
出版日期：2022-09-01
求助人
日月草 在 2025-01-18 15:37:50 发布自北京，悬赏 10 积分
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