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Low-cost piezo-MEMS speaker technology
低成本压电MEMS扬声器技术
相关领域
材料科学
深反应离子刻蚀
话筒
薄脆饼
微电子机械系统
绝缘体上的硅
制作
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激光多普勒测振仪
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声学
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硅
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期刊:Micro and Nano Engineering 作者:Sanjog Vilas Joshi; Sina Sadeghpour; Michaël Kraft 出版日期:2023-06-01 |
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