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标题
Big MEMS for Thermal Measurement
用于热测量的大型MEMS
相关领域
微电子机械系统 热的 材料科学 环境科学 物理 光电子学 气象学
网址
DOI
10.1115/1.4066504 doi
其它 期刊:ASME Journal of Heat and Mass Transfer
作者:Haiyu He; Yuxi Wang; Zhiyao Jiang; Bai Song
出版日期:2024-09-12
求助人
001 在 2024-12-17 14:50:15 发布自上海,悬赏 30 积分
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