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 Series resonance effects of a variable inductor termination on the nonpowered electrode in capacitively coupled plasmas 电容耦合等离子体中可变电感终端对无电极的串联谐振效应
相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Ho-Jun Moon; Jaewon Lee; Ho-Won Lee; Yeong-Min Lim; Jiwon Jung; et al 出版日期：2023-07-31 |
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