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 Surface passivation of GaN micropillar structures through KOH wet etch KOH湿法刻蚀GaN微柱结构的表面钝化
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材料科学
钝化
蚀刻（微加工）
光电子学
反应离子刻蚀
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缓冲氧化物腐蚀
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期刊： 作者：Matthew Seitz; Jacob Boisvere; Bryan Melanson; Jing Zhang 出版日期：2024-03-08 |
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